蠕变寿命延长近4.5倍
一种通过端部倒角改变应力分布、显著抑制长期蠕变变形的射频MEMS开关悬臂梁，无需更换材料即可大幅提升可靠性。
Jiangtao, Wei · 张雨龙 · 刘泽文
Microsystem Technologies 2026
倒角改变应力分布并移动最大蠕变应变位置，在1×10⁷ s后线性倒角梁的蠕变变形仅为未倒角梁的63.5%。
在相同蠕变量判据下，倒角梁的寿命比未倒角梁延长近4.5倍，可靠性显著提升。
弧形倒角设计在不同温度和梁厚条件下的实验结果与仿真预测高度吻合，确认了仿真的准确性。
倒角设计仅通过几何修改实现，无需更换材料或改变基本结构，易于集成到现有工艺中。