摩擦去除率约7倍
利用紫外光催化-Fenton复合反应产生的羟基自由基与金刚石反应，实现化学-机械协同去除，显著提高加工效率与表面质量。
Xiong, Qiang · 路家斌 · Qiusheng, Yan · Liu, Wentao · Xinhan, Wang · 张凤林
Wear 2024
紫外光催化-Fenton复合反应产生羟基自由基，与金刚石表面反应，显著提高材料去除率。
复合反应使研磨比提高至0.925，约为无反应时的6.5倍，加工效率更高。
化学反应产生的羟基自由基与表面材料反应，使摩擦从“三体”滚动转变为“两体”滑动，有利于材料去除。
化学机械协同去除效应不仅提高效率，还改善加工表面质量，满足器件要求。