MEMS流量传感器

高温可靠性量化

面向高温环境应用的MEMS流量传感器，其退化机制和寿命被定量评估，为极端工况下的选用提供依据。

Kang, Qiaoqiao · 陶继方

Sensors 2023

具体参数

最大漂移

3.15 %

流量计在高温下最大漂移

32.91 %

条件下一年内生存率

87.69 %

技术优势

信号处理系统衰减占流量计总衰减的82.01%