壁厚含不确定度
利用海丁格干涉条纹无损测定密封玻璃池的内外表面反射,给出壁厚的加权平均值。
邹升 · 张弘 · Wei, Quan · 陈熙源 · Jian-Cheng, Fang
Journal of Applied Physics 2023
测量全程基于干涉条纹,不需要与玻璃池表面发生物理接触,因此不会对薄壁结构造成机械损伤。
由于样品是密封池,机械探针无法伸入内部,而反射式干涉仅需要内外表面同时存在,因此该方法天然适用于封闭腔体。
通过重新校准激光频率与温度的关系,并精确估计入射角,测量不确定度被系统性抑制,最终给出的加权平均考虑了相关不确定度。
入射角通过非线性最小二乘法精确确定,避免了角度误差对最终厚度结果的干扰。