差动共焦自由曲面测量仪

轴向分辨率1 nm

通过监测和补偿平移运动误差，实现高精度自由曲面面形测量。

赵维谦

IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement 2025

参数信息

轴向分辨率高

1 nm

PV

50 nm

RMS

14 nm