激光加工钕铁硼微阵列

激光加工在钕铁硼表面形成可控微结构，可用于微型直线电机滑块制造。

Zhao, Yong · Shuo, Wang · 于文慧 · Pengyu, Long · Jin-Long, Zhang · 田文涛 · Fei, Gao · 金洙吉 · 郑宏宇 · Wang, Chunjin · 郭江

Micromachines 2023

参数信息

模拟烧蚀深度

43 μm

实验烧蚀深度

43 μm

技术优势

仿真预测准确

二维模型考虑表面张力、反冲压力和重力，计算的烧蚀深度与实验结果一致，可用于指导工艺参数优化。

机理清晰

揭示了熔池流动与微结构形成机理：熔融材料溅射回流堆积在内壁和出口，形成 V 形坑。

应用场景

• 微型直线电机：直接在滑块表面刻出微结构，替代多步复合加工。
• 永磁材料加工：用于永磁体表面微结构成形，不损伤磁性能。
• 微纳制造：提供微米级激光烧蚀工艺，适用于微器件制造。
• 精密加工：通过参数控制实现高精度微坑加工。