抗湿3D电场计

高湿下线性度1%

采用内凸封装放大灵敏度，并设计防潮结构抑制湿度对测量精度的干扰。

Yang, Pengfei · 闻小龙 · Chu, Zhaozhi · 彭春荣

2024

参数信息

灵敏度

4.64 ×

线性度

1 %

最大相对偏差

2.2 %

技术优势

灵敏度至少提高4.64倍

内凸封装使微传感器感知到的电场强度得到放大，从而将整机灵敏度提升至已报道MEMS 3D电场计最高值的4.64倍以上。

高湿下线性度仍达1%

独特的防潮结构抑制了环境湿度对测量的干扰，即使在潮湿环境中也能保持测量线性度在1%以内。

任意姿态偏差仅2.2%

3D结构配合校准，使得电场计在任意旋转姿态下测量值的最大相对偏差仅为2.2%。

应用场景

• 电场测量：用于高湿环境下需要高灵敏度3D电场测量的场景。
• 环境监测：可监测环境电场变化，湿度抑制设计保证数据可靠性。
• MEMS传感器：基于MEMS工艺制造，实现小型化、低成本的3D电场传感。