灵敏度线性度可定制
采用正向设计策略，通过预设微结构分布实现灵敏度和线性度的定制，突破了传统依赖自然模板倒模的限制。
Xu, Zhenjin · 吴德志 · Zhiwen, Chen · Wang, Zhongbao · Cong, Cao · Xiangyu, Shao · 周刚 · Shaohua, Zhang · 王凌云 · Daoheng, Sun
Microsystems and Nanoengineering 2023
通过正向设计策略，根据需求预先计算微结构分布，实现了灵敏度可调（0.7~1.3 kPa⁻¹），不再依赖经验试错。
在高达200 kPa的压力范围内保持线性响应，灵敏度误差低于5%，线性度约0.99，适用于大动态范围测量。
正向设计策略基于基础接触模型，可拓展到不同工作范围和灵敏度需求，为下一代可穿戴设备提供按需定制方案。