阳极放电喷射电化学加工

加工4H-SiC

通过阳极放电控制实现4H-SiC半导体材料的高精度加工，无需掩模即可获得无过切的高形状精度。

赵永华

Journal of Manufacturing Processes 2023

参数信息

最大加工速率

1.44 mm/min

技术优势

最佳表面粗糙度Ra 170 nm

1000 Hz高频AC下实现无过切的高形状精度