抛光快且表面光
一种光催化辅助磁流变抛光用的功能复合粒子，兼具优异材料去除率和超光滑表面质量。
Chen, Zhijun · 潘继生 · 阎秋生 · Huang, Zhanliang · Tianxin, Luan
Materials Science in Semiconductor Processing 2024
紫外光照诱导光催化反应产生强氧化性·OH，将工件表面材料氧化为低硬度物质，从而更易被去除。
光催化辅助抛光后表面粗糙度降低69.32%，获得超光滑表面。
施加2.5 kV/mm电场后，电磁复合场控制磨料分布，抛光垫刚度更均匀，面形高度差ΔRz降低73.1%至0.18 μm。