时域型MEMS加速度计

灵敏度可按需调节

通过调整驱动幅值与频率即可在宽范围内调节灵敏度，非线性极小，可扩展至陀螺仪与倾角仪。

Enfu, Li · Jian, Jiaying · Yang, Fan · Ma, Zhiyong · 郝永存 · 常洪龙

Micromachines 2024

参数信息

灵敏度

-68.91 μs/g

灵敏度

-94.51 μs/g

灵敏度

-124.96 μs/g

1σ 噪声

10.21 mg

1σ 噪声

7.76 mg

1σ 噪声

6.2 mg

技术优势

灵敏度可调

通过减小驱动幅值和频率，灵敏度可以从 -68.91 μs/g 提高到 -124.96 μs/g，为量程自适应提供理论基础。

非线性极小

选用非线性极小的灵敏度作为评估依据，确保传感器输出线性度良好。

可扩展至其他惯性传感器

所有结果可推广到时域陀螺仪或倾角仪等其他惯性传感器。

应用场景

• 惯性测量单元：可作为核心加速度敏感元件，灵活设定量程与灵敏度。
• 振动监测：通过时域测量振动加速度，灵敏度可调以适应不同振动强度。
• 物联网传感器：时域输出便于数字化，适合低功耗物联网传感节点。
• 精密仪器：通过时域高分辨率测量实现精密加速度检测。