NbMoSiN复合膜

耐磨耐蚀兼备

通过复合结构设计,该薄膜在模拟体液中同时实现了高耐磨性与长期耐腐蚀性,优于梯度膜和单一氮流量薄膜。

Jianguo, Qian · Qiang, Gao · Xing, Chen · 王谦之 · Wei, Huang · 赵盖 · 沈建新 · Zhou, Zhifeng · 周飞

Tribology International 2025

技术优势

耐蚀性提升

由于MoSi2和Si3N4相增多,30 sccm氮流量下复合膜腐蚀电流密度降低。

耐磨性显著提高

硬质氮化物相和多相界面强化使10 sccm氮流量下磨痕深度最小。

高氮流量降低摩擦系数

高氮流量下硅化物相增多,通过水合作用降低摩擦系数。

应用场景