无调谐电极MEMS陀螺

低噪声调Q抗冲击

利用传感电容和芯片内阻实现品质因数调谐，无需额外电极，在不恶化噪声的前提下大幅缩短冲击后稳定时间。

赵杨 · 施芹 · Xia, Guaming · 裘安萍

IEEE Transactions on Industrial Electronics 2023

参数信息

传感Q值（调谐前）

38k

传感Q值（调谐后）

3k

技术优势

无需专用电极

直接利用固有的传感电容和芯片上的走线/输入阻抗作为阻尼源，省去传统Q调谐所需的专用调谐电极，降低器件复杂度和面积。

应用场景

• 惯性导航：低噪声和高抗冲击特性提升导航系统在动态环境下的可靠性。
• 无人机姿态控制：快速稳定时间缩短姿态控制响应，增强无人机抗振能力。
• 机器人稳定平台：低噪声陀螺减少机器人姿态估计误差，提高稳定精度。
• 振动冲击环境监测：高冲击鲁棒性使其适用于强振动环境的监测和记录。
• 高精度定位：低零偏漂移提升定位系统的长期精度稳定性。