铝铜互连线

电迁移寿命提升

带蓄水池结构的铝铜互连线通过延长临界尺寸延长电迁移寿命，解决高电流密度下的可靠性问题。

张元祥 · Guoquan, Jiang · 梁利华

Micromachines 2025

参数信息

Tested at mA

2.40 mA

技术优势

寿命可预测

原子密度积分法耦合电子风力、应力梯度、温度梯度和原子密度梯度，模拟与实验结果吻合，可用于失效预测。

蓄水池结构有效

蓄水池能提升电迁移寿命，但存在临界延伸长度，超过后不再有效。

应用场景

• 集成电路互连：为AlCu互连提供电迁移寿命预测与蓄水池优化方案，保障高电流密度下的可靠性。
• 微电子制造：基于0.18 μm量产工艺的测试结构和预测方法，可直接用于制造中的可靠性验证。
• 存储芯片：评估存储芯片中金属互连的电迁移寿命，指导版图设计以提升耐久性。