柔性超导电路

40路线低热导传输

在聚酰亚胺衬底上制备的Nb/Al超导传输线，解决TES阵列至SQUID读出电路间低热导和无阻信号传输问题。

Chengfeng, Zhu · Li, Wan · Jian, Chen · Xiaoying, Sun · 曾九孙 · 蔡晋辉 · Wang, Zhenyu · 李劲劲 · 王雪深

Jiliang Xuebao/Acta Metrologica Sinica 2024

参数信息

大于

1 mA

大于

1 mA

技术优势

柔性集成

传输线制作在聚酰亚胺薄膜上，可弯曲贴合到传感器单元侧面，不依赖刚性衬底。

应用场景

• 超导量子干涉器件：作为TES与SQUID间无阻低热导互联，替换刚性引线。
• 量子计量：为坎德拉量子复现和单能量X射线计量的大规模TES阵列提供信号传输。
• 柔性电子器件：超导电路制作在柔性衬底上，可弯曲集成于曲面结构。
• 超导薄膜：为超导薄膜器件提供柔性载体，扩展应用场景。