超浅斜边GaN紫外APD

175°C雪崩不失效

一种采用2.5°超浅斜边终端结构的GaN紫外雪崩光电二极管,通过降低台面侧壁电场有效抑制退化,在高温加速应力下仍保持稳定,为可靠盖革模式工作提供了新的鲁棒性基准。

Wangping, Wang · 邱晖晔 · Lan, Jinkai

IEEE Photonics Technology Letters 2026

参数信息

静态雪崩电流密度
10² A/cm²
加速雪崩应力温度
175 °C
斜边角度
2.5 °

技术优势

高温下扛得住

超浅斜边结构大幅降低侧壁电场,因此器件在175°C加速雪崩应力下不失效,而常规结构在高温下直接发生破坏性击穿。

侧壁电场更低

2.5°超浅斜边将台面侧壁的局部电场降至远低于常规12°结构的水平,从根源上抑制了陷阱辅助的电荷动态退化。

常规结构有硬伤

12°斜边结构的APD在应力测试中暴露出固有失稳,室温应力后雪崩电流增加,高温下直接发生破坏性击穿,而超浅斜边结构则表现出高稳定性。

应用场景