混合补偿检测算法

精度优于 λ/50

一种结合子孔径拼接与CGH补偿的检测算法，专为大型凸非球面镜设计，无需大口径补偿器即可实现高精度面形检测。

王小坤 · Liu, Zhongkai · Su, Hang · 程强 · Li, Lingzhong · Fukun, Li · Li, Wenyan · Bin, Liu · Wang, Jing · Mengxue, Cai · Jincheng, Wang · Wenhan, Li · Luojia, Zhang · Qiong, Wu · Luo, Xiao · 张学军

Results in Physics 2023

参数信息

残余RMS

< λ/20

检测精度

< λ/50

检测口径

538 mm

技术优势

无需大口径补偿器

采用子孔径拼接与CGH补偿相结合，补偿器口径不再受限于被测镜尺寸。

高非球面度也能测

对于非球面度较高的表面，该方法通过CGH补偿灵活应对，仍能实现高精度检测。

精度优于λ/50

全流程误差分析表明检测精度优于λ/50，满足高精度面形计量要求。

实测验证可靠

对直径538 mm的凸非球面镜进行了实测，与Luphoscan及补偿检测结果对比，残余RMS低于λ/20。

应用场景

• 光学检测：用于大口径凸非球面的高精度面形检测，替代传统大口径补偿器方案。
• 非球面加工：在加工非球面时提供快速、精确的面形反馈，指导修抛。
• 精密测量：为凸非球面提供可溯源的高精度测量手段，精度优于λ/50。