亚微米溅射散斑

71 nm应变分辨率

通过优化磁控溅射参数，在马氏体时效钢上制备出尺寸更均匀的亚微米散斑图案，适用于微尺度数字图像相关（DIC）分析。

Law, Wee King · 王皓亮 · 宋成浩 · Lim, Chin Seong · Sun, Zhengzhong · Wong, Kok Cheong

Materials Science Forum 2025

具体参数

应变分辨率

{'zh': '~71', 'en': '~71'} nm

滑移带宽度范围

{'zh': '240–400', 'en': '240–400'} nm

技术优势

散斑均匀可控

溅射参数（电流、时间、气压）对散斑尺寸及均匀性有明确影响规律，可针对性选择最佳参数组合。

应变分辨率高

原位DIC测量应变分辨率约71 nm，足以捕捉微尺度变形细节。

应用场景

• 微纳变形测量：提供均匀亚微米散斑，无需额外表面处理即可进行微尺度DIC变形场测量。
• 材料力学测试：直接用于材料原位拉伸测试，以71 nm应变分辨率揭示微尺度力学行为。
• 微纳制造检测：优化的溅射工艺可重复制备高质量散斑，适用于微纳结构件的变形检测。