锥形亚波长光栅缝隙波导

超低检测限

通过慢光效应将光与气体的相互作用增强至常规波导的6倍以上,集成长波红外气体探测性能远超现有片上方案。

Dong, Zhang · Wang, Yuefeng · 符强 · 陈伟伟 · 汪鹏君 · 戴世勋 · Jun, Li · Dai, Tingge · 杨建义

Results in Physics 2023

参数信息

慢光增强因子
6.1516
甲烷灵敏度
19.0341
甲烷检测限
0.18524 ppm
一氧化二氮灵敏度
159.2375
一氧化二氮检测限
0.02173 ppm

技术优势

检测限低至ppb级

对一氧化二氮的检测限可低至0.02173 ppm(约21.73 ppb),比甲烷低近一个数量级,满足痕量气体监测需求。

无需外部气体池

传感器采用片上波导结构,光与气体在缝隙内相互作用,可直接集成到光路中,无需额外气室。

兼容标准半导体工艺

锥形亚波长光栅缝隙波导结构与标准半导体工艺兼容,可采用现有制造流程批量生产,降低制造成本。

应用场景