PZT声流控颗粒图案化器件

免净房、低成本

用廉价PZT压电片与玻璃耦合实现多样化颗粒图案，替代需昂贵光刻的声表面波器件。

Hu, Luoke · Xianbin, Li · Leng, Longlong · 錢金貴 · 王勇

Japanese Journal of Applied Physics 2024

参数信息

声热温度

<37 °C

技术优势

免洁净间

器件仅由PZT片、玻璃和超声凝胶构成，无需光刻或洁净间设施，实验室即可制备。

图案多样可调

通过改变谐波模式频率或实验配置，可在PZT表面或玻璃上获得环形、蜂窝状等多种图案，且图案单元尺寸形状可调。

对生物样品安全

在声流控驱动电压下，声热效应温度低于37 °C，不会损害生物样品活性。

应用场景

• 微流控颗粒操控：无需洁净间即可产生多样颗粒图案，便于实验室常规操控。
• 生物样本处理：声热低于37 °C，处理细胞等温敏样品不损害活性。
• 即时诊断器件：低成本易制备的PZT器件可集成到便携诊断平台进行样本图案化。