镀金电极谐振陀螺

电极烧蚀面积降至0.2%

通过侧面激光钻孔修整工艺，在微半球谐振陀螺的电极上实现烧蚀面积占比从超过10%降至0.2%，同时提高修整精度。

李槟 · Xi, Xiang · Lu, Kun · 士研 · 肖定邦 · 吴学忠

IEEE Sensors Journal 2023

参数信息

金膜电极烧蚀面积占比（优化后）

0.2 %

技术优势

电极损伤大幅减小

优化后的工艺将金膜电极的烧蚀面积占比降至0.2%，避免了对电容区域的破坏。

修整精度更高

优化的修整方法能达到更高的修整精度，有助于改善陀螺性能。

应用场景

• 微半球谐振陀螺：用于惯性导航和姿态测量，提升陀螺性能。
• 精密仪器与测量：提供高精度修整方法，确保测量准确性。
• 航空航天材料：可集成到航空航天的惯性导航系统中。
• 飞秒激光：采用飞秒激光修整，实现高效高精度加工。