高静低动刚度隔振器

融合被动与主动阻尼的混合附加阻尼策略，在谐振区实现高减振比，面向工业级AFM扫描头的精密定位需求。

Huang, Chengsi · 林志杭 · 汤晖 · Shu, Shiyu · 刘强

IEEE Transactions on Industrial Electronics 2024

参数信息

谐振区减振率

91 %

非谐振区减振率

94.5 %

稳态定位误差

0.1 μm

技术优势

谐振区减振达91%

混合附加阻尼策略针对谐振区强化阻尼，使1–500 Hz内最棘手的谐振峰被显著抑制。

高频传递不退步

柔顺高静低动刚度机构在增加阻尼的同时不牺牲高频传递特性，避免了主动阻尼常有的高频恶化问题。

重载下仍精准

在2.5 kg负载下，闭环定位稳态误差保持在±0.1 μm以内，满足实际检测工况的承载与精度需求。

应用场景

• 原子力显微镜：替代现有AFM扫描头的隔振单元，提升图像质量与检测效率。
• 精密定位系统：为精密运动平台提供高减振与微米级定位，保证加工/检测一致性。
• 振动控制：用混合阻尼策略抑制谐振区振动，适配工业现场的多源扰动。
• Micro/Mini LED检测：降低面板检测中的振动干扰，使AFM扫描头能清晰成像微小缺陷。