氧化铝夹层磁传感器

灵敏度达 0.0028 Vm/A

通过在FeGaB磁性薄膜中插入氧化铝夹层，抑制局部磁化和涡流损耗，大幅提升体声波磁传感器的灵敏度与线性度。

Li, Jintong · 任万春 · Pengcheng, Zhu · Feng, Mingqiang · Chun, Li · 刘婷婷 · 郭辉辉

Sensors and Actuators, A: Physical 2023

参数信息

灵敏度

0.0028 Vm/A

输出电压线性度

3.85 %

工作频率

2.5 GHz

技术优势

灵敏度大幅提升

插入四层5 nm氧化铝后，传感器灵敏度达到0.0028 Vm/A。

线性度优于3.85%

在50000–60000 A/m磁场范围内，输出电压线性度误差小于3.85%。

工作频率匹配2.5 GHz

通过优化设计，传感器工作频率与2.5 GHz匹配，满足高频应用需求。

涡流损耗被抑制

氧化铝夹层通过改善微结构和层间交互作用，降低了涡流损耗。

应用场景

• 弱磁探测：高灵敏度感知极弱磁场信号，用于医疗诊断和资源勘探。
• 生化磁传感：作为无源磁传感前端，检测生化反应中的微弱磁信号。
• 精密磁场测量：线性度优于3.85%，确保高精度磁场测量。
• 无源无线传感：传感器本身无源，可无线读取，适合远程监测。