分辨率超170 nm
明暗场双通道设计，兼顾图案化与非图案化表面缺陷检测，满足激光陀螺反射镜基片制造需求。
Jun, Wang · Li, Zhenyang · 宋茂新 · Xu, Zhilong · Huan, Luo · 凌明椿 · 76360845 · Liu, Wuhao · 刘振海 · Hong, Jing
Micromachines 2024