SiC微透镜阵列

可耐极端高温

通过模板导向组装微球光刻技术制备的SiC微透镜阵列,为极端高温环境下的光束整形提供了实现途径。

Yao, Xiaoqiang · 周天丰 · Yu, Qian · 贺裕鹏 · 74539915 · Bin, Zhao · Xibin, Wang · 张志宇

Applied Surface Science 2024

技术优势

高温可用

SiC材料具有优异理化性能,使得微透镜阵列能在极高温度环境下作为光学均化器使用。

布局可控

透镜单元布局由预先加工的金属微金字塔阵列模板决定,可实现设计要求的排布。

工艺通用

该方法适用于多种类型SiC微透镜阵列的制备,通过模板设计可灵活调整阵列参数。

应用场景