可耐极端高温
通过模板导向组装微球光刻技术制备的SiC微透镜阵列,为极端高温环境下的光束整形提供了实现途径。
Yao, Xiaoqiang · 周天丰 · Yu, Qian · 贺裕鹏 · 74539915 · Bin, Zhao · Xibin, Wang · 张志宇
Applied Surface Science 2024
SiC材料具有优异理化性能,使得微透镜阵列能在极高温度环境下作为光学均化器使用。
透镜单元布局由预先加工的金属微金字塔阵列模板决定,可实现设计要求的排布。
该方法适用于多种类型SiC微透镜阵列的制备,通过模板设计可灵活调整阵列参数。