非易失硅光MEMS开关

零功耗保持状态

利用范德华力实现非易失性,无需持续供电即可保持开关状态,突破了传统相变材料开关耐久性差和能耗高的瓶颈。

Yinpeng, Hu · Jiayue, Zhu · Peng, Yingying · Hong, Shihan · Linyan, Lyu · 时尧成 · Zhang Gong · 王剑威 · Li, Huan · 戴道锌

Science Advances 2025

参数信息

超额损耗
0.23 dB
消光比
44.4 dB
带宽
200 nm
理论开关能量
1 pJ

技术优势

零功耗保持

开关状态由范德华力维持,无需持续供电,因此静态功耗为零。

可靠性高

采用机械双稳态,避免了相变材料的疲劳和退化问题,提高了开关寿命。

开关能量极低

理论开关能量仅为约1 pJ,远低于相变开关的纳焦级。

可扩展性好

已成功制造出16×16非易失开关阵列,证明了大规模集成的可行性。

应用场景