532nm固体激光自混合干涉仪

亚纳米微振动测量

基于532 nm固体激光器与双电光调制噪声抑制的自混合干涉系统，实现超高分辨率微振动测量。

Yicong, Feng · Wang, Yuning · 周健 · Nie, Xiaoming · Shuo, Sun · Jin, Li · Zhang, Bin

Optics and Laser Technology 2026

参数信息

分辨率

1 nm

方波运动分辨率

10 nm

正弦振动重构范围

10 nm

正弦振动重构上限

5000 nm

技术优势

分辨率低至1 nm

短时分辨率优于1 nm，可直接分辨峰峰值小于10 nm的方波运动，满足纳米级微振动测量需求。

动态范围跨越三个量级

可精确重构峰峰值10至5000 nm的正弦振动，覆盖微米至纳米多个尺度，无需切换量程。

电光调制抑制噪声

采用双电光晶体调制方案，有效抑制激光噪声与环境扰动，提升系统稳定性和可靠性。

应用场景

• 精密振动测量：以纳米级分辨率捕获微弱振动信号，无需接触待测表面。
• 微纳位移传感：自准直特性使其无需复杂光路即可感知亚纳米位移变化。
• 结构健康监测：在建筑和机械结构中集成，实时监测微振动以预警损伤。