二氧化铈磨粒

一种用于硅片化学机械研磨的磨粒，其软质特性避免了传统金刚石磨粒造成的表面损伤。

康仁科

International Journal of Mechanical Sciences 2023

技术优势

无显著材料去除及严重亚表面损伤

应力释放源于磨粒磨损