冷油约束沉积微柱

直径缩小近半

用低温硅油约束弯月面液桥，可以在微米尺度上把金属沉积得更细、更直，定位精度和表面质量同时提升。

Jiajun, Ji · Xu, Lin · Hu, Youwang · 明平美 · Ren, Wanfei · 宋金龙

Additive Manufacturing 2026

参数信息

沉积微结构直径减小率

43.6 %

相对约束比

1.77

微柱高度

824.37 μm

微柱纵横比

4.03

技术优势

直径缩小43.6%

低温硅油提高黏度和表面张力，增强对液桥的约束，缩短固液接触线，使沉积微结构更细。

定位性提升

相对约束比从1提升到1.77，液桥被更有效地限制，沉积位置更可控，表面质量改善。

能造高纵横比微柱

工艺成功制造高824.37 μm、纵横比4.03的金属柱，证明对细长结构的生长控制有效。

应用场景

• 微细金属结构增材制造：直接打印高精度金属微结构，省去掩模和光刻步骤。
• 微电子互连制造：在芯片或封装上局部沉积铜柱，代替镀铜和刻蚀工艺。
• 微流控通道金属电极：在微流道内定点生长金属电极，无需整体金属化和光刻。
• 微纳探针与传感器：制造高纵横比微探针，尖端位置和直径均可控。