GaSb三维纳米沟槽

高频低载少损伤

通过优化振动频率与载荷，在单晶GaSb表面加工出深度可控、亚表面损伤小的三维纳米沟槽，并用于纳米流体忆阻器。

Wang J.

International Journal of Extreme Manufacturing 2026

技术优势

优化条件下（较高振动频率、较低载荷）获得深度和表面质量可控的纳米沟槽

加工引起的非晶GaSb层厚度随振动频率增加而减小

位错密度增加引起加工硬化，有效缓解亚表面损伤