共焦扫描立体视觉测量系统

大视场微米级测量

实现了远距离大视场条件下的微米级三维位移测量。

李勇 · 刘辰光 · You, Xiaoyu · 刘俭

Sensors 2023

参数信息

x方向位移分辨率

2.5 μm

y方向位移分辨率

2.5 μm

z方向位移分辨率

6 μm

测量距离

2.5 m

视场

1.5 × 1.5 m²

技术优势

远距离大视场微米级分辨率

系统在2.5 m距离和1.5 m × 1.5 m视场下实现x、y方向2.5 μm和z方向6 μm的位移分辨率。

结合宏观与微观测量

该技术融合宏观视觉测量与共焦显微测量，从而同时实现长距离、大视场和微米级分辨率。

应用场景

• 大尺寸工件检测：可在2.5 m外对大尺寸工件进行微米级三维位移测量，避免接触和移动。
• 精密制造在线测量：在大视场下实时监测精密制造中的位移，分辨率达2.5 μm。
• 大型结构变形监测：远距离测量大型结构变形，z方向分辨率6 μm，无需安装接触式传感器。