六角密排热通量传感器

快响应高灵敏

在有限面积内提高热电堆结数并增强冷热端温差，同时实现高灵敏度与快速响应。

Li, Le · 田边 · Yanzhong, Chen · Meng-Meng, Wang · Nengchao, Lu · 刘召军 · Li, Shuimin · He, Wu · Zhang, Zhongkai

Microsystems and Nanoengineering 2026

参数信息

热流灵敏度

91.13 μV/(kW/m²)

响应时间

2.85 ms

拟合决定系数

0.999

技术优势

灵敏度提升

六角密排设计在有限面积内增加了热电堆结数，同时冷热端功能薄膜增大了温差，从而使传感器在114–201 kW/m²线性范围内获得91.13 μV/(kW/m²)的灵敏度。

响应极快

传感器在不同激光功率和脉宽测试条件下，响应时间均快于2.85 ms，适用于快速变化热流的捕捉。

应用场景

• 精密热测量：为热流密度提供高精度实时测量，R²>0.999。
• 微流控热管理：快速响应特性可捕捉微流控中的瞬态热流变化。
• 航空航天热防护：能耐高温并快速测量，适用于热防护系统监测。
• 电池热管理：监测电池热流以优化热管理，防止过热。