晶圆级一致性
通过直接光刻图案化技术，将金属氧化物纳米晶片均匀集成到气体传感器芯片上，实现晶圆级一致的传感性能。
Zhenyuan, Tang · 傅力 · 缪鹏 · 刘霞 · Zhang, Jingyuan · Tu, Min
ACS Sensors 2025
直接光刻图案化保证了纳米材料在器件电极上的精确均匀定位，从而在不同区域获得一致的传感响应。
该流程完全采用标准洁净室光刻和纳米晶合成，可与现有半导体制造工艺无缝集成。
该方法为将各种自下而上合成的功能纳米材料集成到不同类型的化学传感器开辟了新机会。