全集成高精度
MEMS敏感结构与ASIC一体化集成，在27.5mm直径内实现高分辨率、高精度角度测量，适用于紧凑空间的高精度应用。
Jiahui, Shi · 周斌 · Bowen, Xing · 魏琦 · Rong, Zhang
IEEE Sensors Journal 2023
MEMS敏感结构与ASIC集成，27.5mm外径即可实现高精度角度测量。
分辨率达到0.002°，满足高精度角度测量需求。
全量程精度0.024°，可在整个测量范围内保持高准确性。
功耗仅250mW，5V单电源供电。