MEMS陀螺仪正交刚度调制器

宽带宽运行中匹配

通过正交刚度调制消除馈通效应,大幅扩展边带频率范围,实现MEMS陀螺仪的运行中模式匹配。

刘学文 · Ye, Shang · Anlan, Ding · 丁徐锴 · 李宏生

IEEE/ASME Transactions on Mechatronics 2025

参数信息

最大边带频率偏移
900 Hz
带宽
116 Hz
测量范围
±500 °/s

技术优势

消除馈通干扰

通过将正交刚度调制信号施加到正交电极上,而不是反馈力电极,从而从根源上消除馈通效应的影响。

边带频率范围扩大

边带频率可到达距驱动频率900 Hz处,大幅扩展可探测的失谐范围。

增益因子一致

自时钟方案确保增益因子在不同工作条件下保持一致,增强了方法的适应性和工程实用性。

应用场景