无折叠双层石墨烯

30秒晶圆级制备

通过应变调控在单晶CuNi(111)上以等温偏析机制超快生长出无折叠的晶圆级双层石墨烯,消除了冷却过程中的褶皱难题。

唐纪琳 · Wang, Yuechen · Yuwei, Ma · Gao, Xiaoyin · Gao, Xin · Li, Ning · Wang, Yani · 长是谁 · Zheng, Liming · Bing, Deng · Yan, Rui · Yisen, Cao · Ronghua, Zhang · 童廉明 · 张锦 · 高鹏 · Liu, Zhongfan · 韦小丁 · Liu, H. · Peng H.

Nano Research 2023

技术优势

2英寸无折叠双层石墨烯晶圆30秒全覆盖

拉伸应变的CuNi(111)薄膜降低了热收缩失配

电学性能晶圆级均匀,力学性能优于剥离石墨烯