超薄氮氧化硅转移层

Hu, Ziying; Zhao, Jie; Guo, Hexia; Li, Rui; Wu, Mingzheng; Shen, Jiahong; Yue, Wang; Qiao, Zheng; Xu, Yue; Haugstad, Greg D.; An, Dongqi; Xie, Zhaoqian; Kandela, Irawati K.; Yu, Chen; Yu, Yi; Deng, Yujun; Yang, Quansan; Lu, Di; Koo, Jahyun; Bai, Wubin; Song, Enming; Yao, Shenglian; Huang, Yonggang; Rogers, John A.

超薄氮氧化硅转移层

用于生物可吸收电子器件，可通过调节成分和厚度定制降解速率与阻隔性能。

Hu, Ziying · Zhao, Jie · Guo, Hexia · 李瑞 · Wu, Mingzheng · Shen, Jiahong · Yue, Wang · Qiao, Zheng · Xu, Yue · Haugstad, Greg D. · An, Dongqi · Xie, Zhaoqian · Kandela, Irawati K. · 于诚 · 禹一 · Deng, Yujun · Yang, Quansan · Lu, Di · Koo, Jahyun · Bai, Wubin · Song, Enming · 姚生莲 · Huang, Yonggang · Rogers, John A.

Advanced Materials 2024

技术优势

降解速率可调

通过微调化学成分和厚度，可以选择降解速率，从而获得从数周到数月不等的不同功能寿命。

生物相容

体外研究表明，SiON及其溶解产物具有生物相容性，适合用于植入式设备。

柔性晶圆级

一种简便的工艺可以制造柔性的晶圆级多层膜，克服了无机薄膜的机械脆性。

应用场景

可植入医疗设备：用作临时植入物的封装层，降解后无需二次手术取出。
柔性电子封装：为柔性器件提供与无机材料兼容的柔性阻隔层，提高机械稳定性。
生物可吸收电子：作为可吸收电子器件的阻隔层，控制器件在体内的寿命。
可穿戴设备：在可穿戴设备中作为柔韧阻隔层，保护敏感元件免受湿气影响。