超精密磨削低损伤
这种陶瓷经等离子体表面改性后，可在常温下实现高形状精度和低亚表面损伤的超精密磨削。
Jiabin, Xu · Qiongyi, He · Zhang, Xiangyu · Xiude, Yi · Yang, Yu · Li, Yingjie · 张龙 · Runrun, Gu · 张飞虎
Materials Science in Semiconductor Processing 2024
等离子体改性生成较低硬度的化合物，降低了磨削时的力热作用，从而减少裂纹萌生，提升光学元件可靠性。
改性后超精密磨削可获得Sa低至0.481 nm的表面粗糙度，显著优于传统磨削，可直接用于光学反射镜等元件。
100 °C等离子体炬在室温环境下对陶瓷表面进行改性，无需高温设备或复杂气氛控制，简化了工艺流程。