低热预算高激活
用绿光纳秒脉冲激光在目标深度实现非晶硅的同步结晶与掺杂激活，避免高温扩散，为Xtacking架构3D NAND闪存提供低热预算制程方案。
Fan, Dongyu · 夏志良 · 杨涛 · Yang, Yuancheng · Wu, Linchun · Kun, Zhang · Liu, Lei · Xi, Chen · Yuan, Yan · Zhou, Wenxi · 霍宗亮
IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing 2023
激光以纳秒脉冲作用，能量集中在极短时间内，总热量输入少，避免了对周围结构的热损伤。
通过调节激光参数可以精确控制加热深度和温度分布，只在目标深度达到熔点，不扩散到其他区域。
高能量纳秒激光能提供足够高的温度使非晶硅熔化，通过液相结晶形成深且类单晶的硅沟道。