亚纳米级离子束改性表面

粗糙度降74%

通过离子束改性辅助平滑，在玻璃陶瓷异质结构表面获得3 nm内均匀改性层，将高频空间粗糙度从0.348 nm降至0.090 nm，为极紫外光刻物镜提供超光滑表面。

Zhang, Shuohua · 郭晓光 · 金洙吉 · 康仁科 · Tang, William C. · 高尚

ACS Applied Materials & Interfaces 2024

参数信息

HSFR

0.348 nm

技术优势

3 nm内超薄均匀改性表面