亚纳米级离子束改性表面

通过离子束改性辅助平滑，在玻璃陶瓷异质结构表面获得3 nm内均匀改性层，将高频空间粗糙度从0.348 nm降至0.090 nm，为极紫外光刻物镜提供超光滑表面。