46.9 nm反射率超90%
用于极紫外激光的高效聚焦与波前分裂，能直接产生约150 nm周期的类光栅条纹，为单发曝光纳米加工提供新途径。
Wang, Jinshi
Photonics 2023
支持单发曝光模式的纳米加工