差分毛细液态金属油墨

单微米精度电路

一种基于植物水运输启发的液态金属油墨，通过差分毛细效应实现快速、高精度、无残留的导电微结构制造。

Zhang, Mingkuan · Gong, Jiahao · Chang, Hao · Sun, Xinlong · Zhang, Pan · 傅俊衡 · 刘力 · Xiaoying, Li · Wang, Yushu · 饶伟

Advanced Functional Materials 2023

具体参数

最小线宽

{'zh': '4', 'en': '4'} µm

通孔直径

{'zh': '5', 'en': '5'} µm

透光率

{'zh': '87', 'en': '87'} %

方阻

{'zh': '0.5', 'en': '0.5'} Ω/□

拉伸断裂极限

{'zh': '750', 'en': '750'} %

技术优势

精度达单微米

最小可制备约4 µm直线，避免了自由扩散导致的线宽增大。

可制备多层电路

可制备最小5 µm通孔的多层电路，实现立体互连。

拉伸极限高

透明导体最大拉伸断裂极限约750%，适用于高拉伸器件。

应用场景

• 柔性透明导体：低方阻高透光率，可用作透明电磁屏蔽。
• 拉伸传感器：高拉伸性和导电性适合应变传感。
• 电子皮肤：柔性可拉伸电路可集成于电子皮肤。
• 电磁屏蔽：透明导体兼具屏蔽效能和光学透明。