多晶氮化铝抛光件

无损高平整

热辅助化学机械抛光实现氮化铝表面无损平坦化，粗糙度降低近半且材料去除率显著提升。

Jinming, Li · 隋天一 · Lv, Bingrui · Xingwang, Xu · Haoxuan, Du · Hetian, Hou · 林彬 · 裘英华 · Usen, Omuraliev

Journal of Materials Processing Technology 2026

具体参数

表面粗糙度（抛光后）
{'zh': '8.8', 'en': '8.8'} nm
材料去除率
{'zh': '5.8', 'en': '5.8'} μm/h

技术优势

粗糙度降近半

抛光后表面粗糙度从17.5 nm降至8.8 nm，降低47%，满足高平整度应用需求。

去除率升一半

材料去除率从3.7 μm/h提升至5.8 μm/h，提高56%，显著缩短加工时间。

表层无划痕

抛光表面无明显划痕，亚表面晶体结构保持完整，无相变或晶格畸变。

水化层抑损伤

表面水化形成的非晶改性层降低了硬度，并将磨粒接触应力向两侧扩散，有效抑制亚表面损伤。

应用场景