晶圆级原位检测
一种基于负静电刚度效应的晶圆级原位检测方法，可同时识别驱动、驱动敏感和敏感梳齿的间隙误差，无需破坏器件。
Meijia, Xu · 施芹 · Huang, Jinyang · 赵杨 · Xia, Guaming · 裘安萍
IEEE Sensors Journal 2023
通过电学测量频率变化提取间隙误差，不损坏器件，无需解理或暴露梳齿结构。
利用敏感模态和Y轴同相模态的负静电刚度效应，同时提取驱动、驱动敏感和敏感梳齿的间隙误差。
在晶圆边缘芯片中单芯片内梳齿间隙变化仅为0.03 μm，表明方法具有高分辨能力。