压力/接近/弯曲多模态
以飞秒激光细丝加工的硅模复制出蜂窝状微结构介电层，使传感器在保持高可靠性的同时，能检测压力、接近和弯曲等多种信号。
Su, Yue · Zhang, Rui · Kun, Liu · Chang, Yukuan · 毛旭瑞 · 张旭
Smart Materials and Structures 2023
一个传感器可同时检测压力、接近和弯曲三种信号，减少系统所需传感器数量。
采用面对面组装的两层微结构PDMS薄膜，结构简单，可靠性高。
可贴附于非平面人体皮肤，用于运动中的生理监测。