抑振91.7%
采用有限元优化真空槽布局,大幅降低大型显示面板在线检测时的振动噪声干扰,保持纳米级形变。
Shengxi, Li · Huang, Chengsi · Huanhao, Cai · 林志杭 · 汤晖
Journal of Vibration Engineering and Technologies 2025
通过优化真空槽布局和结构设计,大幅降低生产线噪声引起的振动变形,保障在线检测精度。
振动变形被控制在纳米甚至亚纳米水平,满足高精度检测对稳定性的严苛要求。