近零非线性误差
压敏电阻灵敏度匹配结构在同一芯片上实现了近零非线性,输出无需标定即可直接用于高精度风洞测压。
Fengyun, Liu · 梁秀兵 · Sun, Riming · 邓进军 · Lin, Jian · Chen, Xing · Zhang, Xingxu · 罗剑 · 王晓静 · 马炳和
Microsystems and Nanoengineering 2025
通过调节压敏电阻的结构和位置,四个压敏电阻获得相等灵敏度,理论实现准零非线性误差,实测低至±0.004%FS,无需额外非线性补偿电路。
传感器样机在Mach 4风洞中进行测试,与真实压力之间的测量误差为±0.98%,为飞行器表面压力分析提供关键传感技术。
传感器的3 dB频率范围为0至121.82 kHz,覆盖动态压力测量需求,适用于快速变化的流场环境。