灵敏度匹配式压力传感器

近零非线性误差

压敏电阻灵敏度匹配结构在同一芯片上实现了近零非线性,输出无需标定即可直接用于高精度风洞测压。

Fengyun, Liu · 梁秀兵 · Sun, Riming · 邓进军 · Lin, Jian · Chen, Xing · Zhang, Xingxu · 罗剑 · 王晓静 · 马炳和

Microsystems and Nanoengineering 2025

参数信息

非线性误差
±0.004 %FS
灵敏度
1.6810 mV/kPa
迟滞
0.025 %
重复性
0.015 %
零点漂移
0.03 %FS
3 dB带宽
0 to 121.82 kHz
风洞测量误差
±0.98 %

技术优势

非线性误差近零

通过调节压敏电阻的结构和位置,四个压敏电阻获得相等灵敏度,理论实现准零非线性误差,实测低至±0.004%FS,无需额外非线性补偿电路。

风洞实测可靠

传感器样机在Mach 4风洞中进行测试,与真实压力之间的测量误差为±0.98%,为飞行器表面压力分析提供关键传感技术。

宽频带响应

传感器的3 dB频率范围为0至121.82 kHz,覆盖动态压力测量需求,适用于快速变化的流场环境。

应用场景