微斑米勒椭偏仪

膜厚误差1.6%内

针对聚焦透镜偏振效应的参数模型与校准方法，使微斑米勒椭偏仪对25 nm以上SiO₂薄膜的厚度测量相对偏差降至1.6%以内。

Liu, Jiamin · Jiang, Zhou · 张松 · 黄涛 · 江浩 · Shiyuan, Liu

Thin Solid Films 2023

参数信息

厚度相对偏差

1.6 %

技术优势

测量更准

校正透镜对的偏振效应后，仪器对25 nm以上SiO₂薄膜的厚度测量相对偏差降至1.6%以内。

可测微区

采用透镜对实现微米尺度探测光斑，适用于集成电路制造中微米沟槽等微小结构。

校准完整

校准方法结合初始离线校准和后续原位校准，完整校正透镜对偏振效应。

应用场景

• 集成电路在线测量：用于集成电路制造中微米沟槽内纳米薄膜的厚度与光学性质在线测量。
• 微纳结构表征：表征微米尺度局域结构的薄膜厚度与光学性质。
• 光学薄膜测量：测量光学薄膜的厚度与光学性质，精度可达1.6%以内。