抗激光损伤增强
通过低应力CCOS与离子束抛光组合工艺去除表面波纹结构，显著提升抗激光损伤能力。
Zhang, Wanli · 石峰 · 宋辞 · Ningye, Ruan · 铁贵鹏 · Wang, Bo · Sun, Guoyan · Peng, Xing
Optics and Laser Technology 2024
组合抛光去除了表面水解层和波纹结构，使光热吸收从0.736 ppm降至0.124 ppm。
激光损伤阈值从6.3 J/cm²提高到7.4 J/cm²，增强了元件的抗激光损伤能力。
组合技术在去除波纹结构的同时保持了加工效率，适用于大口径元件制造。