碳化硅陶瓷飞秒激光烧蚀

多入射角工艺窗口

揭示烧蚀阈值随激光入射角先降后升的非单调规律,为复杂曲面零件的多轴激光加工提供直接依据。

Jianbo, Chen · 陈晓晓 · Zhang, Xuanhua · Wenwu, Zhang

Optics and Lasers in Engineering 2024

技术优势

阈值规律明确

烧蚀阈值随入射角先降后升,加工时可根据角度调整激光功率,避免欠烧蚀或过烧蚀。

形貌分区可控

烧蚀区域可按颜色和氧分布分为去除区、边缘区和影响区,便于评估加工质量和热影响。

功率影响定量化

在固定入射角下,烧蚀范围和深度随功率增大而增大,但增速减缓,可据此优化激光参数。

应用场景